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洁净室及相关受控环境(第1部分) 按粒子浓度划分空气洁净度等级

发布日期:2022-08-03 15:01:44 浏览次数:

国家标准GB/T 25915.1-2021《洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净等级》于2022年3月1日起实施,将代替 GB/T 25915 .1-2010 《洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级》。本标准由TC319(全国洁净室及相关环境标准化技术委员会)归口上报和执行,主管部门为国家标准化管理委员会。苏州鸿博斯特超净科技股份有限公司作为主要的起草单位积极协助推进本标准的制订,联合行业多家企业一起发布了这个国家标准,该标准文件对洁净室监测计划、风险评估以及悬浮粒子数、压差、风速等参数的监测给出了指导意见。此外,文件还给出了对压差和悬浮粒子制定预警值(警戒限)和干预值(行动限)时的考虑和方法。本标准的实施对航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制,同时为光伏、半导体硅材料产业在洁净室的运行和管控、产品表金属控制,产品表面颗粒物降低,方面提供了规范和标准,助力光伏、半导体产品提质增效。

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全国标准信息公共服务平台截图

鸿博斯特成立于2004年12月。企业已通过ISO9001国际质量体系认证,作为微污染控制解决方案服务商,致力于为高科技智能制造业解决产品杂质污染难题,通过科技成果转化,形成以“洁净技术、高纯洁净包装材料、硅料洁净自动化设备研发,生产,销售和服务为核心的主营业务;依托“洁净室产业平台”,以“微污染诊断与控制服务”为目的,立足“半导体新能源行业”核心市场,将洁净技术和材料应用于半导体、光伏新能源产业。鸿博斯特已成为多家半导体、新能源产业企业的技术顾问单位,是国内半导体新能源产业“提质,降本,增效”的方案解决服务商之一!

公司秉承把科技创新,技术研发、成果转化、专利研究、企业管理,专业服务等通过标准化手段融合,形成适合企业综合发展的标准体系,实现“技术专利化、专利标准化、标准产业化”的发展路径。截至目前,鸿博斯特已累计获得233项自主知识产权,其中实审及授权发明专利、外观设计、实用新型专利85项,涵盖新能源产品制造、品质管控及物流运输的各个环节,逐步形成具备自主品牌销售体系于一体的独特综合竞争优势。

标准文件具体内容解读如下:

1、关于洁净度测试采样点数量的要求,文件删除基于面积计算采样点数的计算公式,而是预先给定一张针对不同房间面积所对应的采样点数的表格:

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2、对于房间面积≥636平方(ISO14644:2015为>1000平方)的,通过下列公式计算(公式与ISO14644:2015不同):

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3、删除对粒浓度进行UCL/LCL计算的要求

文件给出了确定单次采样量和各点的采样时间的方法:所选最大粒径的粒子浓度恰好为规定的ISO 级别上限时,在各采样点所采的空气量足以检测到至少20个粒子。每个采样点的单次采样量VS,按公式(A.2)计算。

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每一采样点的采样量至少为2L,每一采样点单次采样的最小采样时间为1 min,每一采样点的每次采样量应一致。

4、删除ISO 5(A级)5.0um粒子的限度标准:

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5、关于监测仪器(粒子计数器),要求按照GB/T 29024.4-2017(等同采用ISO 21501-4:2007,而ISO最新版本为ISO 21501-4:2018)进行校准。